光刻机光罩锯齿型拼接结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520475213.X

申请日：

2015-06-30

公开(公告)号：

CN205003439U

公开(公告)日：

2016-01-27

发明(设计)人：

刘鹏魏明德褚宏扬丁建峰王祥周雪松

申请人：

申请人地址：

221000 江苏省徐州市经济开发区杨山路98号

IPC主分类号：

G03F142

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙) 32244

代理人：

刘新合

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-01-27	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光刻机的光罩存放单元及光刻机 [P].

万峰 ;

谢华 .

中国专利 :CN208156410U ,2018-11-27

[2]

一种光刻机的光罩盒锁紧装置及光刻机 [P].

徐勇 .

中国专利 :CN213482636U ,2021-06-18

[3]

光罩制作方法、光罩、光刻方法、介质、模组及光刻机 [P].

高松 ;

胡丹丹 .

中国专利 :CN114355723A ,2022-04-15

[4]

林生财 ;

刘振辉 ;

王胜利 .

中国专利 :CN211123620U ,2020-07-28

[5]

安德烈·伊万金 ;

贾里德·A·玛格林 .

中国专利 :CN213240799U ,2021-05-18

[6]

曲鲁杰 ;

关远远 .

中国专利 :CN215219413U ,2021-12-17

[7]

一种光刻机的光罩传送手臂 [P].

阮春军 ;

骆建钢 .

中国专利 :CN218087830U ,2022-12-20

[8]

一种光刻机的光罩盒锁紧装置 [P].

胡德立 .

中国专利 :CN220894725U ,2024-05-03

[9]

光刻机及光刻机的压板装置 [P].

胡刚 ;

陈东 ;

项宗齐 .

中国专利 :CN214375824U ,2021-10-08

[10]

光刻机的光罩版缺陷检测方法 [P].

张琪 ;

符友银 ;

贾玄 .

中国专利 :CN121091595A ,2025-12-09

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