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一种光刻机的硅片输送装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201621294606.1
申请日：
2016-11-29
公开(公告)号：
CN206209292U
公开(公告)日：
2017-05-31
发明(设计)人：
丁桃宝
陈愿
申请人：
申请人地址：
215600 江苏省苏州市张家港市经济技术开发区福新路2号张家港晋宇达电子科技有限公司
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531
代理人：
李宏伟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-05-31 | 授权 | 授权 |
| 2021-06-01 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人 变更前:苏州晋宇达实业股份有限公司 变更后:江苏晋誉达半导体股份有限公司 变更事项:地址 变更前:215600 江苏省苏州市张家港经济技术开发区福新路2号 变更后:215600 江苏省苏州市张家港经济技术开发区福新路2号 |
| 2021-06-01 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人 变更前:张家港晋宇达电子科技有限公司 变更后:苏州晋宇达实业股份有限公司 变更事项:地址 变更前:215600 江苏省苏州市张家港市经济技术开发区福新路2号张家港晋宇达电子科技有限公司 变更后:215600 江苏省苏州市张家港经济技术开发区福新路2号 |