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一种光刻机的硅片拿取装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021680566.0
申请日：
2020-08-12
公开(公告)号：
CN212989876U
公开(公告)日：
2021-04-16
发明(设计)人：
詹菲
李恒
申请人：
申请人地址：
324000 浙江省衢州市常山县大桥头乡詹家村113号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
成都鱼爪智云知识产权代理有限公司 51308
代理人：
梁悦敏
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-29 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20200812 授权公告日:20210416 终止日期:20210812 |
| 2021-04-16 | 授权 | 授权 |