一种基于激光干涉光刻在材料表面制作微纳结构的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210356881.1

申请日：

2012-09-24

公开(公告)号：

CN102838082A

公开(公告)日：

2012-12-26

发明(设计)人：

于航陆冰睿刘冉

申请人：

申请人地址：

200433 上海市杨浦区邯郸路220号

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

上海正旦专利代理有限公司 31200

代理人：

陆飞;盛志范

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-30	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101730255827 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2012103568811 申请公布日:20121226
2012-12-26	公开	公开
2013-10-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101532738826 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2012103568811 申请日:20120924

共 50 条

[1]

采用激光干涉光刻技术制作自清洁表面结构的方法和系统 [P].

王作斌 ;

张锦 ;

宋正勋 ;

翁占坤 ;

徐佳 ;

刘国强 .

中国专利 :CN101844272A ,2010-09-29

[2]

基于激光干涉纳米光刻在硅片上制备超疏水表面的方法 [P].

王作斌 ;

李文君 ;

王大鹏 ;

张子昂 ;

赵乐 ;

董莉彤 ;

宋正勋 .

中国专利 :CN103663358A ,2014-03-26

[3]

一种激光干涉纳米光刻制备双重周期纳米结构的方法 [P].

王作斌 ;

王大鹏 ;

张子昂 ;

刘洋 ;

于淼 ;

宋正勋 ;

翁占坤 ;

胡贞 ;

许红梅 .

中国专利 :CN103852975B ,2014-06-11

[4]

一种基于激光干涉光刻技术制备纳米图形的方法 [P].

何苗 ;

杨帆 ;

郑树文 ;

宿世臣 .

中国专利 :CN104820341A ,2015-08-05

[5]

激光干涉光刻技术制作过滤膜网孔结构的方法和系统 [P].

刘洋 ;

王作斌 ;

赵乐 ;

刘兰娇 ;

徐佳 ;

侯煜 ;

翁占坤 ;

宋正勋 ;

胡贞 .

中国专利 :CN101980083A ,2011-02-23

[6]

一种投影辅助的双路径激光干涉光刻系统及方法 [P].

钟晓岚 ;

刘保磊 ;

宋佳奇 ;

王帆 ;

王大境 .

中国专利 :CN118426266A ,2024-08-02

[7]

制作表面等离子体微纳结构的方法 [P].

董小春 ;

杜春雷 ;

罗先刚 ;

李淑红 .

中国专利 :CN101024485A ,2007-08-29

[8]

一种激光干涉光刻制作无调制阵列结构的系统及方法 [P].

卢欣霁 .

中国专利 :CN110967945A ,2020-04-07

[9]

基于激光干涉诱导交联反应的金属微纳结构的制备方法 [P].

翟天瑞 ;

林远海 ;

张新平 ;

刘红梅 ;

王丽 .

中国专利 :CN103204460B ,2013-07-17

[10]

一种干法转印光刻胶制备微纳结构的方法 [P].

段辉高 ;

刘卿 ;

陈艺勤 ;

舒志文 .

中国专利 :CN111115564A ,2020-05-08

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