采用激光干涉光刻技术制作自清洁表面结构的方法和系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010101488.9

申请日：

2010-01-27

公开(公告)号：

CN101844272A

公开(公告)日：

2010-09-29

发明(设计)人：

王作斌张锦宋正勋翁占坤徐佳刘国强

申请人：

申请人地址：

130022 吉林省长春市卫星路7089号

IPC主分类号：

B23K2600

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-05-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101235110226 IPC(主分类):B23K 26/00 专利申请号:2010101014889 申请日:20100127
2010-09-29	公开	公开
2015-03-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101711927344 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2010101014889 申请公布日:20100929

共 50 条

[1]

激光干涉光刻技术制作过滤膜网孔结构的方法和系统 [P].

刘洋 ;

王作斌 ;

赵乐 ;

刘兰娇 ;

徐佳 ;

侯煜 ;

翁占坤 ;

宋正勋 ;

胡贞 .

中国专利 :CN101980083A ,2011-02-23

[2]

采用激光干涉光刻技术制作无调制阵列结构的方法及系统 [P].

徐佳 ;

张红鑫 ;

王泰升 ;

许文斌 ;

蔺春波 ;

王鹤 ;

刘建卓 ;

许家林 .

中国专利 :CN111077734A ,2020-04-28

[3]

采用闪耀光栅的激光干涉光刻系统 [P].

张锦 ;

孙国斌 ;

蒋世磊 ;

弥谦 ;

杭凌侠 ;

马丽娜 .

中国专利 :CN105242499B ,2016-01-13

[4]

采用全息光学元件的激光干涉光刻方法及其光刻系统 [P].

张锦 ;

冯伯儒 .

中国专利 :CN1690857A ,2005-11-02

[5]

一种基于激光干涉光刻在材料表面制作微纳结构的方法 [P].

于航 ;

陆冰睿 ;

刘冉 .

中国专利 :CN102838082A ,2012-12-26

[6]

激光干涉光刻设备和方法 [P].

李文迪 ;

甘斫非 ;

闵思怡 .

中国专利 :CN114509916B ,2024-03-08

[7]

激光干涉光刻设备和方法 [P].

李文迪 ;

甘斫非 ;

闵思怡 .

中国专利 :CN114509916A ,2022-05-17

[8]

全光纤激光干涉光刻设备和方法 [P].

李文迪 .

中国专利 :CN105467769B ,2016-04-06

[9]

一种激光干涉光刻制作无调制阵列结构的系统及方法 [P].

卢欣霁 .

中国专利 :CN110967945A ,2020-04-07

[10]

激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法和光刻系统 [P].

王磊杰 ;

朱煜 ;

张鸣 ;

徐继涛 ;

成荣 ;

李鑫 ;

杨开明 ;

胡金春 .

中国专利 :CN110716397B ,2020-01-21

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