采用闪耀光栅的激光干涉光刻系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510706206.0

申请日：

2015-10-27

公开(公告)号：

CN105242499B

公开(公告)日：

2016-01-13

发明(设计)人：

张锦孙国斌蒋世磊弥谦杭凌侠马丽娜

申请人：

申请人地址：

710032 陕西省西安市未央区学府中路2号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B2710

代理机构：

西安新思维专利商标事务所有限公司 61114

代理人：

黄秦芳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-01-13	公开	公开
2017-09-19	授权	授权
2016-02-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101645683488 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015107062060 申请日:20151027

共 50 条

[1]

使用衍射光栅的激光干涉光刻方法 [P].

金台洙 ;

金在镇 ;

申铉雨 .

中国专利 :CN101828140A ,2010-09-08

[2]

采用全息光学元件的激光干涉光刻方法及其光刻系统 [P].

张锦 ;

冯伯儒 .

中国专利 :CN1690857A ,2005-11-02

[3]

激光干涉光刻系统 [P].

王磊杰 ;

朱煜 ;

张鸣 ;

徐继涛 ;

李鑫 ;

成荣 ;

杨开明 ;

胡金春 .

中国专利 :CN110806680A ,2020-02-18

[4]

一种激光干涉光刻系统 [P].

顾芯铭 ;

刘雨哲 ;

周延民 .

中国专利 :CN109521651A ,2019-03-26

[5]

一种激光干涉光刻系统 [P].

张锦 ;

冯伯儒 ;

蒋世磊 ;

候德胜 ;

宗德蓉 ;

苏平 .

中国专利 :CN2432001Y ,2001-05-30

[6]

采用激光干涉光刻技术制作自清洁表面结构的方法和系统 [P].

王作斌 ;

张锦 ;

宋正勋 ;

翁占坤 ;

徐佳 ;

刘国强 .

中国专利 :CN101844272A ,2010-09-29

[7]

一种用于激光干涉光刻系统的光栅相位调制器 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

王磊杰 ;

成荣 ;

杨开明 ;

刘召 ;

胡金春 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡楚雄 ;

徐登峰 .

中国专利 :CN103064262A ,2013-04-24

[8]

一种激光干涉光刻系统 [P].

彭长四 ;

董晓轩 ;

张伟 ;

顾小勇 ;

周云 ;

刘维萍 .

中国专利 :CN102236267B ,2011-11-09

[9]

一种激光干涉光刻系统 [P].

邹快盛 ;

吴青晴 .

中国专利 :CN218332292U ,2023-01-17

[10]

一种激光干涉光刻系统 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

张鸣 ;

刘召 ;

杨开明 ;

胡金春 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡楚雄 ;

徐登峰 ;

成荣 .

中国专利 :CN103092003B ,2013-05-08

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