一种用于激光干涉光刻系统的光栅相位调制器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310017800.X

申请日：

2013-01-17

公开(公告)号：

CN103064262A

公开(公告)日：

2013-04-24

发明(设计)人：

朱煜张鸣王磊杰成荣杨开明刘召胡金春尹文生穆海华胡楚雄徐登峰

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B2606

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

邸更岩

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-02	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724543128 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL201310017800X 登记生效日:20151112 变更事项:专利权人变更前权利人:清华大学变更后权利人:清华大学变更事项:地址变更前权利人:100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室变更后权利人:100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室变更事项:专利权人变更前权利人:无变更后权利人:北京华卓精科科技股份有限公司
2013-04-24	公开	公开
2015-10-28	授权	授权
2013-05-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101461529775 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:201310017800X 申请日:20130117

共 50 条

[1]

相位调制器和包括相位调制器的相位调制器阵列 [P].

朴晶铉 ;

王逸飞 ;

马克·L·布朗格玛 .

中国专利 :CN113922885A ,2022-01-11

[2]

激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法和光刻系统 [P].

王磊杰 ;

朱煜 ;

张鸣 ;

徐继涛 ;

成荣 ;

李鑫 ;

杨开明 ;

胡金春 .

中国专利 :CN110716397B ,2020-01-21

[3]

采用闪耀光栅的激光干涉光刻系统 [P].

张锦 ;

孙国斌 ;

蒋世磊 ;

弥谦 ;

杭凌侠 ;

马丽娜 .

中国专利 :CN105242499B ,2016-01-13

[4]

电光相位调制器及系统 [P].

周培松 ;

占春连 ;

龙康 .

中国专利 :CN121069652A ,2025-12-05

[5]

用于调制与相位调制器相互作用的光的相位调制器 [P].

伯·克罗尔 ;

诺伯特·莱斯特 .

中国专利 :CN102725683A ,2012-10-10

[6]

一种光相位调制器、光相位调制器的制备方法 [P].

刘敬伟 ;

李超 ;

张新群 .

中国专利 :CN117572673A ,2024-02-20

[7]

一种激光干涉光刻系统 [P].

张锦 ;

冯伯儒 ;

蒋世磊 ;

候德胜 ;

宗德蓉 ;

苏平 .

中国专利 :CN2432001Y ,2001-05-30

[8]

用两个正交声光调制器的成像干涉光刻方法及光刻系统 [P].

冯伯儒 ;

张锦 ;

宗德蓉 .

中国专利 :CN100517069C ,2006-02-08

[9]

一种相位调制器 [P].

周开斌 ;

毛艳 .

中国专利 :CN204046520U ,2014-12-24

[10]

一种基于空间光调制器的干涉光刻系统和方法 [P].

王笑冰 ;

李建兵 ;

张海明 .

中国专利 :CN102967999A ,2013-03-13

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