一种激光干涉光刻系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110178877.6

申请日：

2011-06-29

公开(公告)号：

CN102236267B

公开(公告)日：

2011-11-09

发明(设计)人：

彭长四董晓轩张伟顾小勇周云刘维萍

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B700

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

常亮;李辰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-11-09	公开	公开
2014-05-28	授权	授权
2011-12-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101158512026 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011101788776 申请日:20110629

共 50 条

[1]

一种激光干涉光刻系统 [P].

张锦 ;

冯伯儒 ;

蒋世磊 ;

候德胜 ;

宗德蓉 ;

苏平 .

中国专利 :CN2432001Y ,2001-05-30

[2]

激光干涉光刻系统 [P].

王磊杰 ;

朱煜 ;

张鸣 ;

徐继涛 ;

李鑫 ;

成荣 ;

杨开明 ;

胡金春 .

中国专利 :CN110806680A ,2020-02-18

[3]

一种激光干涉光刻系统 [P].

顾芯铭 ;

刘雨哲 ;

周延民 .

中国专利 :CN109521651A ,2019-03-26

[4]

一种激光干涉光刻系统 [P].

邹快盛 ;

吴青晴 .

中国专利 :CN218332292U ,2023-01-17

[5]

一种激光干涉光刻系统 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

张鸣 ;

刘召 ;

杨开明 ;

胡金春 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡楚雄 ;

徐登峰 ;

成荣 .

中国专利 :CN103092003B ,2013-05-08

[6]

一种激光干涉光刻系统 [P].

王杰 ;

李娜 .

中国专利 :CN115453826A ,2022-12-09

[7]

一种激光干涉光刻光学系统 [P].

翁占坤 ;

王朝阳 ;

曹亮 ;

王璐 ;

董莉彤 ;

王作斌 ;

宋正勋 ;

许红梅 ;

刘兰娇 ;

李理 .

中国专利 :CN106353974A ,2017-01-25

[8]

一种激光干涉光刻光学系统 [P].

翁占坤 ;

王朝阳 ;

曹亮 ;

王璐 ;

董莉彤 ;

王作斌 ;

宋正勋 ;

许红梅 ;

刘兰娇 ;

李理 .

中国专利 :CN206557526U ,2017-10-13

[9]

一种具有图形锁定功能的激光干涉光刻系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

刘召 ;

杨开明 ;

胡金春 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡楚雄 ;

徐登峰 ;

成荣 .

中国专利 :CN103092002A ,2013-05-08

[10]

一种N+1束激光干涉光刻系统 [P].

董莉彤 ;

梁晓琨 ;

刘梦楠 ;

王璐 ;

于淼 ;

袁安刚 ;

王作斌 .

中国专利 :CN121115429A ,2025-12-12

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