一种具有图形锁定功能的激光干涉光刻系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310017803.3

申请日：

2013-01-17

公开(公告)号：

CN103092002A

公开(公告)日：

2013-05-08

发明(设计)人：

张鸣朱煜王磊杰刘召杨开明胡金春尹文生穆海华胡楚雄徐登峰成荣

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B2606 G02B2728

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

邸更岩

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-02	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移变更前权利人:100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室变更后权利人:100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室变更事项:专利权人变更前权利人:无变更后权利人:北京华卓精科科技股份有限公司号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724513118 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2013100178033 登记生效日:20151112 变更事项:专利权人变更前权利人:清华大学变更后权利人:清华大学变更事项:地址
2013-05-08	公开	公开
2015-01-07	授权	授权
2013-06-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101468537214 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013100178033 申请日:20130117

共 50 条

[1]

一种激光干涉光刻系统 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

张鸣 ;

刘召 ;

杨开明 ;

胡金春 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡楚雄 ;

徐登峰 ;

成荣 .

中国专利 :CN103092003B ,2013-05-08

[2]

激光干涉光刻系统 [P].

王磊杰 ;

朱煜 ;

张鸣 ;

徐继涛 ;

李鑫 ;

成荣 ;

杨开明 ;

胡金春 .

中国专利 :CN110806680A ,2020-02-18

[3]

一种激光干涉光刻系统 [P].

彭长四 ;

董晓轩 ;

张伟 ;

顾小勇 ;

周云 ;

刘维萍 .

中国专利 :CN102236267B ,2011-11-09

[4]

一种激光干涉光刻系统 [P].

张锦 ;

冯伯儒 ;

蒋世磊 ;

候德胜 ;

宗德蓉 ;

苏平 .

中国专利 :CN2432001Y ,2001-05-30

[5]

一种激光干涉光刻系统 [P].

王杰 ;

李娜 .

中国专利 :CN115453826A ,2022-12-09

[6]

一种激光干涉光刻系统 [P].

顾芯铭 ;

刘雨哲 ;

周延民 .

中国专利 :CN109521651A ,2019-03-26

[7]

一种激光干涉光刻系统 [P].

邹快盛 ;

吴青晴 .

中国专利 :CN218332292U ,2023-01-17

[8]

一种激光干涉光刻光学系统 [P].

翁占坤 ;

王朝阳 ;

曹亮 ;

王璐 ;

董莉彤 ;

王作斌 ;

宋正勋 ;

许红梅 ;

刘兰娇 ;

李理 .

中国专利 :CN106353974A ,2017-01-25

[9]

一种激光干涉光刻光学系统 [P].

翁占坤 ;

王朝阳 ;

曹亮 ;

王璐 ;

董莉彤 ;

王作斌 ;

宋正勋 ;

许红梅 ;

刘兰娇 ;

李理 .

中国专利 :CN206557526U ,2017-10-13

[10]

一种N+1束激光干涉光刻系统 [P].

董莉彤 ;

梁晓琨 ;

刘梦楠 ;

王璐 ;

于淼 ;

袁安刚 ;

王作斌 .

中国专利 :CN121115429A ,2025-12-12

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