一种激光干涉光刻光学系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611037444.8

申请日：

2016-11-23

公开(公告)号：

CN106353974A

公开(公告)日：

2017-01-25

发明(设计)人：

翁占坤王朝阳曹亮王璐董莉彤王作斌宋正勋许红梅刘兰娇李理

申请人：

申请人地址：

130022 吉林省长春市朝阳区卫星路7089号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B2608

代理机构：

长春菁华专利商标代理事务所 22210

代理人：

李青

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-01	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20170125
2017-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101705789925 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2016110374448 申请日:20161123
2017-01-25	公开	公开

共 50 条

[1]

一种激光干涉光刻光学系统 [P].

翁占坤 ;

王朝阳 ;

曹亮 ;

王璐 ;

董莉彤 ;

王作斌 ;

宋正勋 ;

许红梅 ;

刘兰娇 ;

李理 .

中国专利 :CN206557526U ,2017-10-13

[2]

一种干涉成像光学系统 [P].

姚东 ;

沈宏海 ;

杨名宇 ;

许永森 ;

李全超 ;

张嬛 .

中国专利 :CN106907987B ,2017-06-30

[3]

干涉仪光学系统 [P].

王飞 ;

史振广 ;

田伟 ;

隋永新 .

中国专利 :CN106767390A ,2017-05-31

[4]

一种激光加工中空光学系统 [P].

王相苹 ;

韩公明 .

中国专利 :CN220943665U ,2024-05-14

[5]

一种激光干涉光刻系统 [P].

顾芯铭 ;

刘雨哲 ;

周延民 .

中国专利 :CN109521651A ,2019-03-26

[6]

一种激光干涉光刻系统 [P].

彭长四 ;

董晓轩 ;

张伟 ;

顾小勇 ;

周云 ;

刘维萍 .

中国专利 :CN102236267B ,2011-11-09

[7]

一种激光干涉光刻系统 [P].

张锦 ;

冯伯儒 ;

蒋世磊 ;

候德胜 ;

宗德蓉 ;

苏平 .

中国专利 :CN2432001Y ,2001-05-30

[8]

一种激光扫描光学系统 [P].

秦应雄 ;

许文强 ;

王拂煦 ;

李恒阳 .

中国专利 :CN114101900A ,2022-03-01

[9]

光学系统和光刻系统 [P].

T·沃尔夫斯坦纳 ;

S·沃尔兹 ;

M·霍尔兹 ;

H·比格 ;

A-J·格林 ;

A·弗罗姆迈尔 .

德国专利 :CN120435692A ,2025-08-05

[10]

一种多幅干涉成像光学系统 [P].

姚东 ;

沈宏海 .

中国专利 :CN107664514A ,2018-02-06

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