一种激光干涉光刻系统

被引：0

申请号：

CN202222017232.0

申请日：

2022-08-02

公开(公告)号：

CN218332292U

公开(公告)日：

2023-01-17

发明(设计)人：

邹快盛吴青晴

申请人：

申请人地址：

215137 江苏省苏州市相城区济学路8号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B300

代理机构：

苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345

代理人：

丰叶

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-17	授权	授权

共 50 条

[1]

激光干涉光刻系统 [P].

王磊杰 ;

朱煜 ;

张鸣 ;

徐继涛 ;

李鑫 ;

成荣 ;

杨开明 ;

胡金春 .

中国专利 :CN110806680A ,2020-02-18

[2]

一种激光干涉光刻系统 [P].

顾芯铭 ;

刘雨哲 ;

周延民 .

中国专利 :CN109521651A ,2019-03-26

[3]

一种激光干涉光刻系统 [P].

彭长四 ;

董晓轩 ;

张伟 ;

顾小勇 ;

周云 ;

刘维萍 .

中国专利 :CN102236267B ,2011-11-09

[4]

一种激光干涉光刻系统 [P].

张锦 ;

冯伯儒 ;

蒋世磊 ;

候德胜 ;

宗德蓉 ;

苏平 .

中国专利 :CN2432001Y ,2001-05-30

[5]

一种激光干涉光刻系统 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

张鸣 ;

刘召 ;

杨开明 ;

胡金春 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡楚雄 ;

徐登峰 ;

成荣 .

中国专利 :CN103092003B ,2013-05-08

[6]

一种激光干涉光刻系统 [P].

王杰 ;

李娜 .

中国专利 :CN115453826A ,2022-12-09

[7]

一种激光干涉光刻光学系统 [P].

翁占坤 ;

王朝阳 ;

曹亮 ;

王璐 ;

董莉彤 ;

王作斌 ;

宋正勋 ;

许红梅 ;

刘兰娇 ;

李理 .

中国专利 :CN106353974A ,2017-01-25

[8]

一种激光干涉光刻光学系统 [P].

翁占坤 ;

王朝阳 ;

曹亮 ;

王璐 ;

董莉彤 ;

王作斌 ;

宋正勋 ;

许红梅 ;

刘兰娇 ;

李理 .

中国专利 :CN206557526U ,2017-10-13

[9]

一种N+1束激光干涉光刻系统 [P].

董莉彤 ;

梁晓琨 ;

刘梦楠 ;

王璐 ;

于淼 ;

袁安刚 ;

王作斌 .

中国专利 :CN121115429A ,2025-12-12

[10]

采用闪耀光栅的激光干涉光刻系统 [P].

张锦 ;

孙国斌 ;

蒋世磊 ;

弥谦 ;

杭凌侠 ;

马丽娜 .

中国专利 :CN105242499B ,2016-01-13

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