基板处理装置和基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410100796.8

申请日：

2014-03-18

公开(公告)号：

CN104064496A

公开(公告)日：

2014-09-24

发明(设计)人：

林航之介古矢正明大田垣崇长嶋裕次木名瀬淳安部正泰

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587748943 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2014101007968 申请日:20140318
2014-09-24	公开	公开
2017-10-13	授权	授权

共 50 条

[1]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

长嶋裕次 ;

松下淳 ;

林航之介 ;

宫崎邦浩 ;

古矢正明 ;

东野秀史 ;

田内丰泰 .

中国专利 :CN104517873A ,2015-04-15

[2]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

长嶋裕次 ;

松下淳 ;

斋藤裕树 ;

林航之介 ;

宫崎邦浩 .

中国专利 :CN104517875A ,2015-04-15

[3]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

林航之介 ;

古矢正明 ;

大田垣崇 ;

长嶋裕次 ;

木名瀬淳 ;

安部正泰 .

中国专利 :CN104064445B ,2014-09-24

[4]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

林航之介 ;

古矢正明 ;

大田垣崇 ;

长嶋裕次 ;

木名瀬淳 ;

安部正泰 .

中国专利 :CN104064495B ,2014-09-24

[5]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

松下淳 ;

长嶋裕次 ;

林航之介 ;

宫崎邦浩 .

中国专利 :CN104517809A ,2015-04-15

[6]

基板处理装置、基板处理方法和基板处理程序 [P].

大塚庆崇 ;

中满孝志 .

中国专利 :CN1828828A ,2006-09-06

[7]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

池田朋生 ;

日高章一郎 .

日本专利 :CN110783228B ,2024-07-30

[8]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

方济午 ;

安迎曙 ;

李承汉 ;

李承桓 ;

金铉玟 .

中国专利 :CN114446825A ,2022-05-06

[9]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

田边万奈 ;

高居康介 ;

增井健二 ;

梅泽华织 .

日本专利 :CN111696884B ,2024-01-16

[10]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

本田拓巳 ;

山下浩司 ;

田原真二 ;

百武宏展 .

日本专利 :CN110010520B ,2024-03-26

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