基板处理装置和基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410515122.4

申请日：

2014-09-29

公开(公告)号：

CN104517875A

公开(公告)日：

2015-04-15

发明(设计)人：

长嶋裕次松下淳斋藤裕树林航之介宫崎邦浩

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-15	公开	公开
2015-05-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101609209534 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2014105151224 申请日:20140929
2017-10-20	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20150415

共 50 条

[1]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

长嶋裕次 ;

松下淳 ;

林航之介 ;

宫崎邦浩 ;

古矢正明 ;

东野秀史 ;

田内丰泰 .

中国专利 :CN104517873A ,2015-04-15

[2]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

林航之介 ;

古矢正明 ;

大田垣崇 ;

长嶋裕次 ;

木名瀬淳 ;

安部正泰 .

中国专利 :CN104064495B ,2014-09-24

[3]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

林航之介 ;

古矢正明 ;

大田垣崇 ;

长嶋裕次 ;

木名瀬淳 ;

安部正泰 .

中国专利 :CN104064496A ,2014-09-24

[4]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

宫原理 .

中国专利 :CN113021178A ,2021-06-25

[5]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

川根旬平 ;

盐田明仁 ;

铃木聪 ;

山本悟史 .

中国专利 :CN101154566A ,2008-04-02

[6]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

后藤大辅 ;

东岛治郎 ;

绪方信博 ;

桥本佑介 .

日本专利 :CN118039528A ,2024-05-14

[7]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

若松孝彬 .

中国专利 :CN114946013A ,2022-08-26

[8]

基板处理方法和基板处理装置 [P].

米川裕基 ;

高桥周平 ;

立花康三 ;

西村英树 .

中国专利 :CN108242390A ,2018-07-03

[9]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

池田義谦 ;

谷口裕树 ;

篠原和義 .

中国专利 :CN107026106B ,2017-08-08

[10]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

林航之介 ;

古矢正明 ;

大田垣崇 ;

长嶋裕次 ;

木名瀬淳 ;

安部正泰 .

中国专利 :CN104064445B ,2014-09-24

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