基板处理装置和基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611235722.0

申请日：

2016-12-28

公开(公告)号：

CN107026106B

公开(公告)日：

2017-08-08

发明(设计)人：

池田義谦谷口裕树篠原和義

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20161228
2021-10-26	授权	授权
2017-08-08	公开	公开

共 50 条

[1]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

川根旬平 ;

盐田明仁 ;

铃木聪 ;

山本悟史 .

中国专利 :CN101154566A ,2008-04-02

[2]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

小佐井一树 ;

篠原和义 .

日本专利 :CN112786485B ,2025-08-22

[3]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

小佐井一树 ;

篠原和义 .

日本专利 :CN121011535A ,2025-11-25

[4]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

滨岛悠太 ;

小杉仁 ;

菅野至 ;

野中纯 .

日本专利 :CN120826769A ,2025-10-21

[5]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

小佐井一树 ;

篠原和义 .

中国专利 :CN112786485A ,2021-05-11

[6]

基板处理装置和基板处理装置的清洗方法 [P].

东岛治郎 ;

绪方信博 ;

桥本佑介 .

日本专利 :CN114256103B ,2025-11-04

[7]

基板处理装置和基板处理装置的清洗方法 [P].

东岛治郎 ;

绪方信博 ;

桥本佑介 .

中国专利 :CN106960807B ,2017-07-18

[8]

基板处理装置和基板处理装置的清洗方法 [P].

东岛治郎 ;

绪方信博 ;

桥本佑介 .

中国专利 :CN114256103A ,2022-03-29

[9]

基板处理装置、基板处理方法和基板处理程序 [P].

大塚庆崇 ;

中满孝志 .

中国专利 :CN1828828A ,2006-09-06

[10]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

池田朋生 ;

日高章一郎 .

日本专利 :CN110783228B ,2024-07-30

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