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一种MPCVD设备基板台冷却结构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821029075.2
申请日：
2018-07-01
公开(公告)号：
CN208949403U
公开(公告)日：
2019-06-07
发明(设计)人：
黄翀
范杰
申请人：
申请人地址：
410205 湖南省长沙市岳麓区麓谷企业广场B8栋7楼
IPC主分类号：
C23C16511
IPC分类号：
代理机构：
武汉智汇为专利代理事务所(普通合伙) 42235
代理人：
李恭渝
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-30 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/511 变更事项:专利权人 变更前:长沙新材料产业研究院有限公司 变更后:航天科工（长沙）新材料研究院有限公司 变更事项:地址 变更前:410205 湖南省长沙市岳麓区麓谷企业广场B8栋7楼 变更后:410205 湖南省长沙市长沙高新开发区文轩路27号麓谷钰园B8栋首层东部、2层整层、7层整层、8层整层 |
| 2019-06-07 | 授权 | 授权 |