一种MPCVD设备基板台冷却系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110356302.2

申请日：

2021-04-01

公开(公告)号：

CN113186516A

公开(公告)日：

2021-07-30

发明(设计)人：

龚闯朱长征吴剑波蒋剑宏

申请人：

申请人地址：

201799 上海市青浦区华浦路500号2幢西侧

IPC主分类号：

C23C1646

IPC分类号：

C23C16511 C23C1652 C23C1627

代理机构：

上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312

代理人：

袁步兰

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-30	公开	公开
2023-01-20	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 16/46 申请公布日:20210730
2021-08-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/46 申请日:20210401

共 50 条

[1]

一种MPCVD设备基板台冷却管定位结构 [P].

黄翀 ;

范杰 .

中国专利 :CN212223095U ,2020-12-25

[2]

一种MPCVD设备基板台冷却结构 [P].

黄翀 ;

范杰 .

中国专利 :CN208949403U ,2019-06-07

[3]

一种改进的MPCVD设备基板台冷却结构 [P].

黄翀 ;

范杰 .

中国专利 :CN108866514A ,2018-11-23

[4]

一种具有冷却结构的MPCVD设备基板台 [P].

黄翀 ;

范杰 .

中国专利 :CN214142531U ,2021-09-07

[5]

一种改进的MPCVD设备基板台冷却结构 [P].

黄翀 ;

范杰 .

中国专利 :CN208949404U ,2019-06-07

[6]

一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备 [P].

张晶 ;

王陶 ;

罗显靖 ;

胡向阳 .

中国专利 :CN223535205U ,2025-11-11

[7]

一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备 [P].

张晶 ;

王陶 ;

罗显靖 ;

胡向阳 .

中国专利 :CN223548096U ,2025-11-14

[8]

一种用于MPCVD金刚石合成设备的冷却系统 [P].

陈聪聪 ;

许成志 ;

郭森森 ;

吴鹏辉 ;

樊会鹏 ;

刘勐琦 ;

曾献伟 .

中国专利 :CN222411821U ,2025-01-28

[9]

一种基片台系统及MPCVD设备 [P].

张磊 ;

朱磊 ;

贾燕伟 ;

赵万辉 ;

吴周礼 .

中国专利 :CN118668191A ,2024-09-20

[10]

一种MPCVD设备冷却基片台结构 [P].

顾正 ;

牛文浩 ;

仰耶雨 .

中国专利 :CN220867511U ,2024-04-30

← 1 2 3 4 5 →