一种基片台系统及MPCVD设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410702675.4

申请日：

2024-05-31

公开(公告)号：

CN118668191A

公开(公告)日：

2024-09-20

发明(设计)人：

张磊朱磊贾燕伟赵万辉吴周礼

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

C23C16/458

IPC分类号：

C23C16/511 C23C16/52 C30B25/12 C30B29/04 C30B25/16

代理机构：

北京布瑞知识产权代理有限公司 11505

代理人：

张春辉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/458申请日:20240531
2025-12-26	授权	授权
2024-09-20	公开	公开

共 50 条

[1]

一种基片台系统及MPCVD设备 [P].

张磊 ;

朱磊 ;

贾燕伟 ;

赵万辉 ;

吴周礼 .

中国专利 :CN118668191B ,2025-12-26

[2]

一种MPCVD设备基片台控温装置及方法 [P].

黄翀 ;

彭琎 .

中国专利 :CN109402610A ,2019-03-01

[3]

一种MPCVD设备冷却基片台结构 [P].

顾正 ;

牛文浩 ;

仰耶雨 .

中国专利 :CN220867511U ,2024-04-30

[4]

一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备 [P].

张晶 ;

王陶 ;

罗显靖 ;

胡向阳 .

中国专利 :CN223535205U ,2025-11-11

[5]

一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备 [P].

张晶 ;

王陶 ;

罗显靖 ;

胡向阳 .

中国专利 :CN223548096U ,2025-11-14

[6]

一种MPCVD设备所使用基片台的表面处理方法 [P].

张青 .

中国专利 :CN118497706A ,2024-08-16

[7]

一种金刚石生长的MPCVD基片台 [P].

许成志 ;

郭森森 ;

曾献伟 .

中国专利 :CN222043347U ,2024-11-22

[8]

一种MPCVD腔体结构及MPCVD设备 [P].

范杰 ;

黄翀 .

中国专利 :CN108149223A ,2018-06-12

[9]

一种沉积腔室结构及MPCVD设备 [P].

宋德鹏 ;

张正伟 ;

马士国 .

中国专利 :CN120272886B ,2025-12-12

[10]

一种MPCVD设备基板台冷却系统 [P].

龚闯 ;

朱长征 ;

吴剑波 ;

蒋剑宏 .

中国专利 :CN113186516A ,2021-07-30

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