一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202423185083.4

申请日：

2024-12-20

公开(公告)号：

CN223535205U

公开(公告)日：

2025-11-11

发明(设计)人：

张晶王陶罗显靖胡向阳

申请人：

先材（深圳）半导体科技有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-33号201

IPC主分类号：

C23C16/511

IPC分类号：

C23C16/27 C23C16/458 C23C16/52

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

孙海杰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备 [P].

张晶 ;

王陶 ;

罗显靖 ;

胡向阳 .

中国专利 :CN223548096U ,2025-11-14

[2]

一种MPCVD设备 [P].

苗江涛 ;

冯曙光 ;

赵俊贤 .

中国专利 :CN222631557U ,2025-03-18

[3]

一种MPCVD系统 [P].

黄春林 ;

胡宗义 ;

刘文科 ;

吴丹 ;

李俊宏 .

中国专利 :CN116180057B ,2024-09-24

[4]

一种MPCVD腔体结构及MPCVD设备 [P].

范杰 ;

黄翀 .

中国专利 :CN108149223A ,2018-06-12

[5]

一种MPCVD设备冷却基片台结构 [P].

顾正 ;

牛文浩 ;

仰耶雨 .

中国专利 :CN220867511U ,2024-04-30

[6]

一种基片台系统及MPCVD设备 [P].

张磊 ;

朱磊 ;

贾燕伟 ;

赵万辉 ;

吴周礼 .

中国专利 :CN118668191A ,2024-09-20

[7]

一种基片台系统及MPCVD设备 [P].

张磊 ;

朱磊 ;

贾燕伟 ;

赵万辉 ;

吴周礼 .

中国专利 :CN118668191B ,2025-12-26

[8]

一种联轴器、样品台组件及MPCVD装置 [P].

鄢敏 ;

刘文科 ;

李俊宏 .

中国专利 :CN222185525U ,2024-12-17

[9]

一种样品台组件及MPCVD装置 [P].

刘文科 ;

李俊宏 ;

黄春林 .

中国专利 :CN223268756U ,2025-08-26

[10]

一种用于MPCVD设备的反应腔 [P].

黄春林 ;

刘文科 ;

胡宗义 ;

李俊宏 ;

季宇 .

中国专利 :CN218435940U ,2023-02-03

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