一种MPCVD设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420378504.6

申请日：

2024-02-28

公开(公告)号：

CN222631557U

公开(公告)日：

2025-03-18

发明(设计)人：

苗江涛冯曙光赵俊贤

申请人：

江苏先导微电子科技有限公司

申请人地址：

221116 江苏省徐州市高新技术产业开发区先导南路2号

IPC主分类号：

C23C16/511

IPC分类号：

代理机构：

清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815

代理人：

黄迅

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省徐州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备 [P].

张晶 ;

王陶 ;

罗显靖 ;

胡向阳 .

中国专利 :CN223535205U ,2025-11-11

[2]

一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备 [P].

张晶 ;

王陶 ;

罗显靖 ;

胡向阳 .

中国专利 :CN223548096U ,2025-11-14

[3]

一种MPCVD系统 [P].

黄春林 ;

胡宗义 ;

刘文科 ;

吴丹 ;

李俊宏 .

中国专利 :CN116180057B ,2024-09-24

[4]

一种MPCVD设备监控录像装置 [P].

顾正 ;

牛文浩 ;

仰耶雨 .

中国专利 :CN220284217U ,2024-01-02

[5]

一种MPCVD设备冷却基片台结构 [P].

顾正 ;

牛文浩 ;

仰耶雨 .

中国专利 :CN220867511U ,2024-04-30

[6]

一种MPCVD腔体结构及MPCVD设备 [P].

范杰 ;

黄翀 .

中国专利 :CN108149223A ,2018-06-12

[7]

一种微波等离子体化学气相沉积设备 [P].

黄春林 ;

胡宗义 ;

刘文科 ;

吴丹 ;

李俊宏 .

中国专利 :CN220827462U ,2024-04-23

[8]

一种MPCVD设备用观察窗及MPCVD设备 [P].

李小岚 ;

刘旭东 ;

冯建伟 .

中国专利 :CN223620473U ,2025-12-02

[9]

一种新型微波屏蔽装置、观察筒及MPCVD设备 [P].

陈森林 ;

李俊宏 ;

季宇 .

中国专利 :CN218451086U ,2023-02-03

[10]

一种MPCVD设备用观察窗及MPCVD设备 [P].

崔名扬 ;

李宏利 ;

方海江 ;

孙胜浩 ;

郑逢达 .

中国专利 :CN217230928U ,2022-08-19

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