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一种MPCVD设备监控录像装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321446096.5
申请日：
2023-06-07
公开(公告)号：
CN220284217U
公开(公告)日：
2024-01-02
发明(设计)人：
顾正 牛文浩 仰耶雨
申请人：
上海固玺科技有限责任公司
申请人地址：
201100 上海市闵行区元江路525号2幢102A室
IPC主分类号：
C23C16/511
IPC分类号：
C23C16/52
代理机构：
成都顶峰专利事务所(普通合伙) 51224
代理人：
王袁辉
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
上海市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-05-30 专利权的终止 未缴年费专利权终止IPC(主分类):C23C 16/511申请日:20230607授权公告日:20240102
2024-01-02 授权 授权
共 50 条
[1]
一种MPCVD设备冷却基片台结构 [P]. 
顾正 ;
牛文浩 ;
仰耶雨 .
中国专利 :CN220867511U ,2024-04-30
[2]
一种新型微波屏蔽装置、观察筒及MPCVD设备 [P]. 
陈森林 ;
李俊宏 ;
季宇 .
中国专利 :CN218451086U ,2023-02-03
[3]
一种对真空环境有效密封的MPCVD装置 [P]. 
闫宁 ;
吴啸 ;
郭兴星 ;
范波 ;
蔡玉珺 ;
常豪峰 ;
徐帅 .
中国专利 :CN209652424U ,2019-11-19
[4]
一种联轴器、样品台组件及MPCVD装置 [P]. 
鄢敏 ;
刘文科 ;
李俊宏 .
中国专利 :CN222185525U ,2024-12-17
[5]
一种MPCVD观察窗口结构 [P]. 
吴昊 ;
卢善友 ;
许金凤 ;
郑家勇 .
中国专利 :CN220468146U ,2024-02-09
[6]
一种MPCVD设备 [P]. 
苗江涛 ;
冯曙光 ;
赵俊贤 .
中国专利 :CN222631557U ,2025-03-18
[7]
一种改善气体分布的沉积室及MPCVD装置 [P]. 
闫宁 ;
吴啸 ;
范波 ;
常豪锋 .
中国专利 :CN110306171A ,2019-10-08
[8]
一种用于MPCVD金刚石合成设备的冷却系统 [P]. 
陈聪聪 ;
许成志 ;
郭森森 ;
吴鹏辉 ;
樊会鹏 ;
刘勐琦 ;
曾献伟 .
中国专利 :CN222411821U ,2025-01-28
[9]
一种具有实时监控功能的MPCVD设备 [P]. 
崔名扬 ;
李宏利 ;
方海江 ;
任丽 ;
郑逢达 .
中国专利 :CN218416494U ,2023-01-31
[10]
一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备 [P]. 
张晶 ;
王陶 ;
罗显靖 ;
胡向阳 .
中国专利 :CN223535205U ,2025-11-11
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