一种样品台组件及MPCVD装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422642802.4

申请日：

2024-10-31

公开(公告)号：

CN223268756U

公开(公告)日：

2025-08-26

发明(设计)人：

刘文科李俊宏黄春林

申请人：

成都沃特塞恩电子技术有限公司

申请人地址：

610041 四川省成都市高新区益州大道中段1800号天府软件园G区G3栋3楼301号

IPC主分类号：

C23C16/458

IPC分类号：

C23C16/27 C23C16/511

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种联轴器、样品台组件及MPCVD装置 [P].

鄢敏 ;

刘文科 ;

李俊宏 .

中国专利 :CN222185525U ,2024-12-17

[2]

一种分水器、样品台组件及MPCVD装置 [P].

黄春林 ;

刘文科 ;

胡宗义 ;

李俊宏 .

中国专利 :CN222226552U ,2024-12-24

[3]

一种带有偏压引线的样品台组件及MPCVD系统 [P].

黄春林 ;

刘文科 ;

胡宗义 ;

李俊宏 ;

李东亚 .

中国专利 :CN116732502B ,2024-08-23

[4]

一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备 [P].

张晶 ;

王陶 ;

罗显靖 ;

胡向阳 .

中国专利 :CN223535205U ,2025-11-11

[5]

一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备 [P].

张晶 ;

王陶 ;

罗显靖 ;

胡向阳 .

中国专利 :CN223548096U ,2025-11-14

[6]

一种腔盖开关组件及MPCVD装置 [P].

吴丹 ;

吴小波 ;

李东亚 ;

李俊宏 .

中国专利 :CN220550227U ,2024-03-01

[7]

一种反应腔及MPCVD装置 [P].

黄春林 ;

刘文科 ;

李俊宏 .

中国专利 :CN222908067U ,2025-05-27

[8]

一种MPCVD腔体及MPCVD装置 [P].

曹建伟 ;

朱亮 ;

倪军夫 ;

高宇 ;

张一卓 .

中国专利 :CN119824528A ,2025-04-15

[9]

一种用于MPCVD的样品台水冷结构 [P].

唐挺 ;

刘艺昭 ;

王曙光 .

中国专利 :CN218179326U ,2022-12-30

[10]

MPCVD载体及MPCVD装置 [P].

曹建伟 ;

朱亮 ;

倪军夫 ;

高宇 ;

严嘉文 ;

李玉刚 .

中国专利 :CN223646639U ,2025-12-09

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