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一种MPCVD腔体及MPCVD装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411909636.8
申请日：
2024-12-23
公开(公告)号：
CN119824528A
公开(公告)日：
2025-04-15
发明(设计)人：
曹建伟 朱亮 倪军夫 高宇 张一卓
申请人：
浙江晶盛机电股份有限公司 浙江晶信绿钻科技有限公司
申请人地址：
312300 浙江省绍兴市上虞区曹娥街道五星西路99号
IPC主分类号：
C30B25/08
IPC分类号：
C30B29/04 C23C16/511 C23C16/27
代理机构：
杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329
代理人：
安佳伟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
浙江省 绍兴市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-05-02 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C30B 25/08申请日:20241223
2025-04-15 公开 公开
共 50 条
[1]
MPCVD载体及MPCVD装置 [P]. 
曹建伟 ;
朱亮 ;
倪军夫 ;
高宇 ;
严嘉文 ;
李玉刚 .
中国专利 :CN223646639U ,2025-12-09
[2]
一种MPCVD腔体结构及MPCVD设备 [P]. 
范杰 ;
黄翀 .
中国专利 :CN108149223A ,2018-06-12
[3]
一种用于MPCVD腔体连接的法兰及MPCVD装置 [P]. 
魏浩胤 ;
曾凡初 .
中国专利 :CN113265649A ,2021-08-17
[4]
一种用于MPCVD腔体连接的法兰及MPCVD装置 [P]. 
魏浩胤 ;
曾凡初 .
中国专利 :CN215440679U ,2022-01-07
[5]
一种用于MPCVD腔体连接的法兰及MPCVD装置 [P]. 
魏浩胤 ;
曾凡初 .
中国专利 :CN113265649B ,2024-02-06
[6]
一种反应腔及MPCVD装置 [P]. 
黄春林 ;
刘文科 ;
李俊宏 .
中国专利 :CN222908067U ,2025-05-27
[7]
一种MPCVD腔体清洗方法 [P]. 
王洪波 ;
顾海巍 ;
褚巍 .
中国专利 :CN113564562A ,2021-10-29
[8]
一种MPCVD腔体结构 [P]. 
刘引 ;
张光 ;
罗文波 ;
刘欣 .
中国专利 :CN222961539U ,2025-06-10
[9]
MPCVD装置及其应用 [P]. 
张文聪 ;
朱铧丞 .
中国专利 :CN116970922B ,2025-09-05
[10]
MPCVD谐振腔体、MPCVD设备及其应用方法 [P]. 
朱昆 ;
张蔡婕 ;
颜学庆 .
中国专利 :CN119994431A ,2025-05-13
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