一种带有偏压引线的样品台组件及MPCVD系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310318067.9

申请日：

2023-03-28

公开(公告)号：

CN116732502B

公开(公告)日：

2024-08-23

发明(设计)人：

黄春林刘文科胡宗义李俊宏李东亚

申请人：

成都沃特塞恩电子技术有限公司

申请人地址：

610095 四川省成都市高新区益州大道中段1800号3栋3层301号

IPC主分类号：

C23C16/50

IPC分类号：

H01J37/20 C23C16/458

代理机构：

北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11394

代理人：

孔鹏

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种样品台组件及MPCVD装置 [P].

刘文科 ;

李俊宏 ;

黄春林 .

中国专利 :CN223268756U ,2025-08-26

[2]

一种联轴器、样品台组件及MPCVD装置 [P].

鄢敏 ;

刘文科 ;

李俊宏 .

中国专利 :CN222185525U ,2024-12-17

[3]

一种分水器、样品台组件及MPCVD装置 [P].

黄春林 ;

刘文科 ;

胡宗义 ;

李俊宏 .

中国专利 :CN222226552U ,2024-12-24

[4]

一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备 [P].

张晶 ;

王陶 ;

罗显靖 ;

胡向阳 .

中国专利 :CN223535205U ,2025-11-11

[5]

一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备 [P].

张晶 ;

王陶 ;

罗显靖 ;

胡向阳 .

中国专利 :CN223548096U ,2025-11-14

[6]

一种用于MPCVD系统的导流式样品托及MPCVD系统 [P].

王宏兴 ;

王艳丰 .

中国专利 :CN212713747U ,2021-03-16

[7]

一种用于MPCVD的样品台水冷结构 [P].

唐挺 ;

刘艺昭 ;

王曙光 .

中国专利 :CN218179326U ,2022-12-30

[8]

一种MPCVD系统 [P].

黄春林 ;

胡宗义 ;

刘文科 ;

吴丹 ;

李俊宏 .

中国专利 :CN116180057B ,2024-09-24

[9]

一种基片台系统及MPCVD设备 [P].

张磊 ;

朱磊 ;

贾燕伟 ;

赵万辉 ;

吴周礼 .

中国专利 :CN118668191A ,2024-09-20

[10]

一种基片台系统及MPCVD设备 [P].

张磊 ;

朱磊 ;

贾燕伟 ;

赵万辉 ;

吴周礼 .

中国专利 :CN118668191B ,2025-12-26

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