惯性微机电传感器及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010200713.4

申请日：

2010-06-11

公开(公告)号：

CN102275860A

公开(公告)日：

2011-12-14

发明(设计)人：

毛剑宏韩凤芹唐德明

申请人：

申请人地址：

211009 江苏省镇江市高新技术产业开发园区经十二路668号211室

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

B81C100 G01P15125 G01D512 G01C1900

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

授权

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

微机电传感器及其制造方法 [P].

季锋 ;

闻永祥 ;

刘琛 ;

贺锦 .

中国专利 :CN112327002A ,2021-02-05

[2]

微机电传感器及其制造方法 [P].

季锋 ;

闻永祥 ;

刘琛 ;

贺锦 .

中国专利 :CN112327002B ,2025-08-15

[3]

微机电传感器及其制造方法 [P].

季锋 ;

闻永祥 ;

刘琛 ;

贺锦 .

中国专利 :CN112327003A ,2021-02-05

[4]

微机电传感器及其制造方法 [P].

季锋 ;

闻永祥 ;

刘琛 ;

贺锦 .

中国专利 :CN112327003B ,2025-08-15

[5]

惯性微机电传感器及其制作方法 [P].

毛剑宏 ;

唐德明 .

中国专利 :CN102530832B ,2012-07-04

[6]

用于制造微机电传感器的方法和微机电传感器 [P].

A·克罗嫩贝格尔 .

中国专利 :CN113056437A ,2021-06-29

[7]

用于制造微机电传感器的方法和微机电传感器 [P].

A·克罗嫩贝格尔 .

德国专利 :CN113056437B ,2024-04-30

[8]

微机电传感器 [P].

汤小贾 ;

汪应波 .

中国专利 :CN214734496U ,2021-11-16

[9]

微机电传感器 [P].

端木鲁玉 ;

张俊德 ;

宋青林 .

中国专利 :CN204007944U ,2014-12-10

[10]

微机电传感器 [P].

阿特·齐亚斯 ;

菲尔·莫格尔 ;

西恩·卡希尔 ;

诺姆·奈斯特龙 ;

阿尔伯特·K·亨宁 .

中国专利 :CN1552081A ,2004-12-01

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-31	授权	授权
2022-08-26	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 登记号:Y2022330001717 登记生效日:20220811 出质人:浙江珏芯微电子有限公司质权人:浙江泰隆商业银行股份有限公司丽水分行发明名称:惯性微机电传感器的制造方法申请日:20100611 授权公告日:20141231
2013-02-20	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101515796354 IPC(主分类):B81B 7/02 专利申请号:2010102007134 变更事项:申请人变更前权利人:江苏丽恒电子有限公司变更后权利人:上海丽恒光微电子科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:211009 江苏省镇江市高新技术产业开发园区经十二路668号211室变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼501B室登记生效日:20130115
2012-02-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101177115171 IPC(主分类):B81B 7/02 专利申请号:2010102007134 申请日:20100611
2020-04-10	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B81B 7/02 登记生效日:20200323 变更事项:专利权人变更前权利人:丽水珏意芯诚电子科技合伙企业（有限合伙）变更后权利人:浙江珏芯微电子有限公司变更事项:地址变更前权利人:323000 浙江省丽水市莲都区南明山街道石牛路268号1幢B座303-6室变更后权利人:323000 浙江省丽水市莲都区南明山街道石牛路268号1幢B座307室
2011-12-14	公开	公开
2019-12-27	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B81B 7/02 登记生效日:20191210 变更事项:专利权人变更前权利人:上海丽恒光微电子科技有限公司变更后权利人:丽水珏意芯诚电子科技合伙企业（有限合伙）变更事项:地址变更前权利人:201203 上海浦东新区龙东大道3000号5号楼501B 变更后权利人:323000 浙江省丽水市莲都区南明山街道石牛路268号1幢B座303-6室
2019-05-24	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B81B 7/02 登记生效日:20190507 变更事项:专利权人变更前权利人:张家港丽恒光微电子科技有限公司变更后权利人:上海丽恒光微电子科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:215613 江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村变更后权利人:201203 上海浦东新区龙东大道3000号5号楼501B