惯性微机电传感器及其制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201010608170.X
申请日
2010-12-27
公开(公告)号
CN102530832B
公开(公告)日
2012-07-04
发明(设计)人
毛剑宏 唐德明
申请人
申请人地址
201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼501B室
IPC主分类号
B81C100
IPC分类号
B81B702 B81B300
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
骆苏华
法律状态
公开
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
惯性微机电传感器及其制造方法 [P]. 
毛剑宏 ;
韩凤芹 ;
唐德明 .
中国专利 :CN102275860A ,2011-12-14
[2]
微机电传感器与制作方法 [P]. 
王传蔚 .
中国专利 :CN101811657B ,2010-08-25
[3]
微机电传感器的制作方法、微机电传感器及电子设备 [P]. 
张岳刚 .
中国专利 :CN118479415A ,2024-08-13
[4]
微机电传感器 [P]. 
汤小贾 ;
汪应波 .
中国专利 :CN214734496U ,2021-11-16
[5]
微机电传感器 [P]. 
端木鲁玉 ;
张俊德 ;
宋青林 .
中国专利 :CN204007944U ,2014-12-10
[6]
微机电传感器 [P]. 
阿特·齐亚斯 ;
菲尔·莫格尔 ;
西恩·卡希尔 ;
诺姆·奈斯特龙 ;
阿尔伯特·K·亨宁 .
中国专利 :CN1552081A ,2004-12-01
[7]
微机电传感器 [P]. 
季锋 ;
闻永祥 ;
刘琛 ;
贺锦 .
中国专利 :CN214122269U ,2021-09-03
[8]
微机电传感器 [P]. 
伏尔克·坎普 .
中国专利 :CN102334009B ,2012-01-25
[9]
微机电传感器 [P]. 
毛剑宏 ;
唐德明 .
中国专利 :CN202150936U ,2012-02-22
[10]
微机电传感器 [P]. 
蒋铠宇 ;
陈振颐 ;
张朝森 .
中国专利 :CN110290450A ,2019-09-27