衬底运输设备

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201580014344.0
申请日
2015-01-16
公开(公告)号
CN106103011A
公开(公告)日
2016-11-09
发明(设计)人
R.T.卡夫尼
申请人
申请人地址
美国马萨诸塞州
IPC主分类号
B25J1100
IPC分类号
B25J1802 H01L2167
代理机构
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人
吴超;张昱
法律状态
实质审查的生效
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
衬底运输设备 [P]. 
R.T.卡夫尼 .
中国专利 :CN113270350A ,2021-08-17
[2]
衬底运输设备 [P]. 
R.T.卡夫尼 ;
U.吉尔克里斯特 ;
A.克鲁皮舍夫 .
中国专利 :CN110246793A ,2019-09-17
[3]
衬底运输设备 [P]. 
R.T.卡夫尼 ;
U.吉尔克里斯特 ;
A.克鲁皮舍夫 .
中国专利 :CN105981154B ,2016-09-28
[4]
运输设备 [P]. 
H·万纳 ;
A·贝希勒 .
中国专利 :CN106660648A ,2017-05-10
[5]
夹持器模块和衬底运输设备 [P]. 
李在玹 ;
成爀济 ;
卢奇兑 ;
金宗玄 .
韩国专利 :CN118263171A ,2024-06-28
[6]
基板运输设备 [P]. 
D·巴布斯 ;
V·W·曾 ;
R·C·梅 .
美国专利 :CN119650486A ,2025-03-18
[7]
运输设备 [P]. 
凌建莉 .
中国专利 :CN112810526A ,2021-05-18
[8]
运输设备 [P]. 
蔡洪标 ;
陈凯明 ;
郑相源 ;
朱飘 .
中国专利 :CN218087457U ,2022-12-20
[9]
运输设备 [P]. 
J·索伦森 .
:CN115210169B ,2025-07-11
[10]
运输设备 [P]. 
宋威 ;
黄东海 ;
马勇军 ;
李德权 ;
史弦立 .
中国专利 :CN110155621A ,2019-08-23