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夹持器模块和衬底运输设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311777147.7
申请日：
2023-12-22
公开(公告)号：
CN118263171A
公开(公告)日：
2024-06-28
发明(设计)人：
李在玹 成爀济 卢奇兑 金宗玄
申请人：
细美事有限公司
申请人地址：
韩国忠清南道
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/687
代理机构：
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204
代理人：
刘旭;张磊
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-06-28 公开 公开
2025-11-04 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20231222
共 50 条
[1]
衬底运输设备 [P]. 
R.T.卡夫尼 .
中国专利 :CN106103011A ,2016-11-09
[2]
衬底运输设备 [P]. 
R.T.卡夫尼 ;
U.吉尔克里斯特 ;
A.克鲁皮舍夫 .
中国专利 :CN110246793A ,2019-09-17
[3]
衬底运输设备 [P]. 
R.T.卡夫尼 .
中国专利 :CN113270350A ,2021-08-17
[4]
衬底运输设备 [P]. 
R.T.卡夫尼 ;
U.吉尔克里斯特 ;
A.克鲁皮舍夫 .
中国专利 :CN105981154B ,2016-09-28
[5]
夹持装置和运输设备 [P]. 
朱太荣 ;
刘群 .
中国专利 :CN222562659U ,2025-03-04
[6]
夹持运输设备 [P]. 
冯敏 .
中国专利 :CN108545404A ,2018-09-18
[7]
夹持器模块、衬底传送设备和夹持载体的方法 [P]. 
李在玹 ;
成爀济 ;
卢奇兑 ;
金宗玄 .
韩国专利 :CN118263170A ,2024-06-28
[8]
对中夹持机构和运输设备 [P]. 
罗作喜 ;
沈朱征 .
中国专利 :CN222770207U ,2025-04-18
[9]
一种夹持装置和运输设备 [P]. 
毋伟伟 ;
苏舟 ;
李云起 ;
杨迅 ;
王瑾 ;
高云峰 .
中国专利 :CN217147703U ,2022-08-09
[10]
一种夹持装置和运输设备 [P]. 
阮麒云 ;
黄万旬 ;
朱勇 ;
张志丹 ;
杨迅 ;
施宣权 ;
王瑾 ;
高云峰 .
中国专利 :CN217866804U ,2022-11-22
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