调节MOCVD反应室压力克服LED外延结构雾边的方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610490056.9

申请日：

2016-06-29

公开(公告)号：

CN106086810A

公开(公告)日：

2016-11-09

发明(设计)人：

陆俊徐涛蔡金宋景峰彭庆

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市工业园区苏虹东路388号

IPC主分类号：

C23C1618

IPC分类号：

C23C1652 C30B2516

代理机构：

南京苏科专利代理有限责任公司 32102

代理人：

陆明耀;陈忠辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-09	公开	公开
2016-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101690441072 IPC(主分类):C23C 16/18 专利申请号:2016104900569 申请日:20160629
2019-08-30	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 16/18 申请公布日:20161109

共 50 条

[1]

MOCVD反应腔的压力控制系统及MOCVD外延设备 [P].

王涛 ;

王永 ;

郭军强 ;

陈军 .

中国专利 :CN120666310A ,2025-09-19

[2]

反应腔室的压力控制系统及压力控制方法 [P].

孙朋涛 ;

耿丹 ;

桂晓波 ;

郑建宇 ;

李补忠 .

中国专利 :CN110538620B ,2019-12-06

[3]

干熄焦预存室压力调节系统及调节方法 [P].

吴波 ;

牛彬彬 ;

杜树 ;

张学军 ;

张建建 ;

郝一风 ;

梁哲 .

中国专利 :CN118879347A ,2024-11-01

[4]

燃料电池的压力调节系统及压力调节方法 [P].

刘维 ;

张国强 .

中国专利 :CN104064790B ,2014-09-24

[5]

一种用于反应室的气浮驱动装置、系统及方法 [P].

盛飞龙 ;

郭嘉杰 ;

王鑫 ;

吴帆 ;

戴科峰 ;

梁启恒 .

中国专利 :CN115537780B ,2024-07-16

[6]

一种用于反应室的气浮驱动装置、系统及方法 [P].

盛飞龙 ;

郭嘉杰 ;

王鑫 ;

吴帆 ;

戴科峰 ;

梁启恒 .

中国专利 :CN115537780A ,2022-12-30

[7]

调整半导体反应室真空系统的排气压力的装置及方法 [P].

林育安 ;

林良文 ;

赖文成 ;

林昌平 .

中国专利 :CN1420526A ,2003-05-28

[8]

用于MOCVD系统中控制外延片温度及均匀性的装置与方法 [P].

陈爱华 ;

金小亮 .

中国专利 :CN101906622A ,2010-12-08

[9]

一种高压燃油系统压力调节结构及调节方法 [P].

刘隆娇 .

中国专利 :CN113847175A ,2021-12-28

[10]

使用机器人进行PCR反应的方法、系统及实验室 [P].

杨梅 ;

钟一鸣 .

中国专利 :CN108220122A ,2018-06-29

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