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一种蚀刻载盘
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020352299.8
申请日：
2020-03-19
公开(公告)号：
CN211376605U
公开(公告)日：
2020-08-28
发明(设计)人：
李瑞评
李彬彬
吴福仁
霍曜
申请人：
申请人地址：
362411 福建省泉州市安溪县湖头镇横山村光电产业园
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L2168
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-08-28 | 授权 | 授权 |