光路结构和蓝宝石衬底激光剥离设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021997509.5

申请日：

2020-09-11

公开(公告)号：

CN213257740U

公开(公告)日：

2021-05-25

发明(设计)人：

刘雷

申请人：

申请人地址：

413500 湖南省益阳市安化县仙溪镇仙峰村月形村民组

IPC主分类号：

B23K2650

IPC分类号：

B23K26073 B23K26064 B23K2657 H01L2167 H01L3300

代理机构：

东莞市科凯伟成知识产权代理有限公司 44627

代理人：

刘晓峰

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-25	授权	授权

共 50 条

[1]

蓝宝石衬底激光剥离设备 [P].

刘雷 .

中国专利 :CN212695168U ,2021-03-12

[2]

一种蓝宝石图形衬底激光剥离的方法 [P].

赵圣哲 ;

钟泽 ;

薛进营 ;

周维 .

中国专利 :CN102751397A ,2012-10-24

[3]

利用固体激光器无损剥离GaN与蓝宝石衬底的方法 [P].

张国义 ;

孙永健 ;

康香宁 ;

陈志忠 ;

杨志坚 ;

杨欣荣 .

中国专利 :CN101740331B ,2010-06-16

[4]

激光剥离方法和蓝宝石衬底上发光二极管器件外延结构 [P].

张豪峰 .

中国专利 :CN111326409B ,2020-06-23

[5]

一种新型led蓝宝石衬底结构 [P].

陈铭欣 ;

林木榕 ;

谢斌晖 ;

林永春 .

中国专利 :CN206003817U ,2017-03-08

[6]

一种渐进式微米级蓝宝石衬底激光剥离工艺 [P].

云峰 ;

郭茂峰 .

中国专利 :CN107622977A ,2018-01-23

[7]

一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法 [P].

张雷 ;

刘磊 ;

张百涛 ;

王国栋 ;

叶帅 ;

何京良 ;

徐明升 ;

俞娇仙 ;

王守志 ;

胡小波 ;

徐现刚 .

中国专利 :CN113628960B ,2024-03-22

[8]

一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法 [P].

张雷 ;

刘磊 ;

张百涛 ;

王国栋 ;

叶帅 ;

何京良 ;

徐明升 ;

俞娇仙 ;

王守志 ;

胡小波 ;

徐现刚 .

中国专利 :CN113628960A ,2021-11-09

[9]

蓝宝石衬底的划片方法和制品 [P].

傅新钧 ;

赵诗嘉 ;

应丹青 ;

郭泽文 ;

刘建森 ;

毕尊 ;

夏章艮 ;

高艳龙 .

中国专利 :CN120133747A ,2025-06-13

[10]

一种加工蓝宝石衬底LED晶圆的方法及激光装置 [P].

张一谋 ;

杨深明 ;

柳啸 ;

李福海 ;

尹建刚 ;

高云峰 .

中国专利 :CN110625267A ,2019-12-31

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