利用固体激光器无损剥离GaN与蓝宝石衬底的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810225953.2

申请日：

2008-11-07

公开(公告)号：

CN101740331B

公开(公告)日：

2010-06-16

发明(设计)人：

张国义孙永健康香宁陈志忠杨志坚杨欣荣

申请人：

申请人地址：

523500 广东省东莞市企石镇科技工业园

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L21268 B23K2600

代理机构：

北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200

代理人：

李稚婷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-09-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005266399 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2008102259532 申请日:20081107
2010-06-16	公开	公开
2012-01-25	授权	授权

共 50 条

[1]

利用固态UV激光器对蓝宝石衬底划线 [P].

刘国珍 ;

方沛贤 ;

丹尼尔·J·德雷 ;

刘镇营 ;

黄日昌 ;

安东尼奥·卢塞罗 ;

斯科特·平卡姆 ;

史蒂文·奥尔特罗格 ;

杜安·米德尔布什 .

中国专利 :CN1287442C ,2004-06-02

[2]

基于飞秒激光技术的GaN薄膜与蓝宝石衬底的剥离方法 [P].

刘胜 ;

付兴铭 ;

刘亦杰 ;

郑怀 ;

沈沁宇 .

中国专利 :CN105006446A ,2015-10-28

[3]

散热衬底及固体激光器 [P].

孙豹 ;

杨立峰 .

中国专利 :CN210137088U ,2020-03-10

[4]

利用固态UV激光器对蓝宝石衬底划线的系统及方法 [P].

刘国珍 ;

方沛贤 ;

丹尼尔·J·德雷 ;

刘镇营 ;

黄日昌 ;

安东尼奥·卢塞罗 ;

斯科特·平卡姆 ;

史蒂文·奥尔特罗格 ;

杜安·米德尔布什 .

中国专利 :CN1978167A ,2007-06-13

[5]

一种蓝宝石图形衬底激光剥离的方法 [P].

赵圣哲 ;

钟泽 ;

薛进营 ;

周维 .

中国专利 :CN102751397A ,2012-10-24

[6]

抑制固体激光器ASE及固体激光器的制备方法和固体激光器 [P].

方聪 ;

韩昌昊 ;

王思博 ;

陈国 ;

李宝 ;

王克强 ;

韩隆 .

中国专利 :CN120049263A ,2025-05-27

[7]

一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法 [P].

张雷 ;

刘磊 ;

张百涛 ;

王国栋 ;

叶帅 ;

何京良 ;

徐明升 ;

俞娇仙 ;

王守志 ;

胡小波 ;

徐现刚 .

中国专利 :CN113628960B ,2024-03-22

[8]

一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法 [P].

张雷 ;

刘磊 ;

张百涛 ;

王国栋 ;

叶帅 ;

何京良 ;

徐明升 ;

俞娇仙 ;

王守志 ;

胡小波 ;

徐现刚 .

中国专利 :CN113628960A ,2021-11-09

[9]

一种利用加热激光剥离方法制作图形化蓝宝石衬底的方法 [P].

孙永健 ;

豆学刚 ;

莫少琼 ;

王光普 ;

王艳祥 ;

邓海燕 ;

郑会刚 .

中国专利 :CN109888065A ,2019-06-14

[10]

利用金属过渡层转移GaN衬底的激光剥离方法 [P].

陈松岩 ;

张小英 ;

汪建元 ;

赖虹凯 .

中国专利 :CN101118850A ,2008-02-06

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