利用固态UV激光器对蓝宝石衬底划线

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03142382.5

申请日：

2003-06-10

公开(公告)号：

CN1287442C

公开(公告)日：

2004-06-02

发明(设计)人：

刘国珍方沛贤丹尼尔·J·德雷刘镇营黄日昌安东尼奥·卢塞罗斯科特·平卡姆史蒂文·奥尔特罗格杜安·米德尔布什

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L2178

IPC分类号：

B23K2600 H01S316 H01S3127

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波;侯宇

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-31	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/78 申请日:20030610 授权公告日:20061129 终止日期:20180610
2004-06-02	公开	公开
2004-08-11	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-07-04	专利权的无效宣告	专利权全部无效号牌文件类型代码:1609 号牌文件序号:101276912228 IPC(主分类):H01L 21/78 专利号:ZL031423825 授权公告日:20061129 无效宣告决定日:20090506 无效宣告决定号:13310
2006-11-29	授权	授权

共 50 条

[1]

利用固态UV激光器对蓝宝石衬底划线的系统及方法 [P].

刘国珍 ;

方沛贤 ;

丹尼尔·J·德雷 ;

刘镇营 ;

黄日昌 ;

安东尼奥·卢塞罗 ;

斯科特·平卡姆 ;

史蒂文·奥尔特罗格 ;

杜安·米德尔布什 .

中国专利 :CN1978167A ,2007-06-13

[2]

利用固体激光器无损剥离GaN与蓝宝石衬底的方法 [P].

张国义 ;

孙永健 ;

康香宁 ;

陈志忠 ;

杨志坚 ;

杨欣荣 .

中国专利 :CN101740331B ,2010-06-16

[3]

蓝宝石衬底激光剥离设备 [P].

刘雷 .

中国专利 :CN212695168U ,2021-03-12

[4]

芯片集成钛：蓝宝石激光器 [P].

G·H·安 ;

D·M·卢金 ;

M·吉德里 ;

J·瓦科维克 ;

K·杨 .

中国专利 :CN114175421A ,2022-03-11

[5]

图形化蓝宝石衬底报废外延片的蓝宝石衬底再利用方法 [P].

许南发 ;

郭文平 .

中国专利 :CN104362083B ,2015-02-18

[6]

光路结构和蓝宝石衬底激光剥离设备 [P].

刘雷 .

中国专利 :CN213257740U ,2021-05-25

[7]

一种利用激光切割蓝宝石衬底LED芯片的方法 [P].

吴金凤 ;

李法健 ;

单立英 ;

赵霞焱 ;

肖成峰 .

中国专利 :CN107538136A ,2018-01-05

[8]

一种用于制备蓝宝石衬底的GaN基半导体激光器腔面的方法 [P].

王金翠 ;

沈燕 ;

张木青 ;

刘欢 ;

刘长江 .

中国专利 :CN103915757A ,2014-07-09

[9]

一种蓝宝石衬底回收再利用方法 [P].

马后永 ;

琚晶 ;

游正璋 ;

李起鸣 ;

谢静超 .

中国专利 :CN105655453A ,2016-06-08

[10]

固态激光器系统、固态激光器的控制方法 [P].

杨阳 ;

王政 .

中国专利 :CN114336260A ,2022-04-12

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