一种半导体化学品液体物料雾化清洗装置

被引：0

申请号：

CN202023309820.9

申请日：

2020-12-30

公开(公告)号：

CN216175068U

公开(公告)日：

2022-04-05

发明(设计)人：

江磊

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区龙潭路206号

IPC主分类号：

B08B9093

IPC分类号：

B08B908

代理机构：

苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345

代理人：

王利斌

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体化学品药液桶清洗装置 [P].

孙伟伟 ;

马雨 ;

任阳阳 .

中国专利 :CN118719745A ,2024-10-01

[2]

一种半导体化学品药液桶清洗装置 [P].

孙伟伟 ;

马雨 ;

任阳阳 .

中国专利 :CN118719745B ,2025-11-18

[3]

一种半导体化学品容器喷淋清洗干燥装置 [P].

江磊 .

中国专利 :CN215236597U ,2021-12-21

[4]

全自动半导体化学品药液桶清洗装置 [P].

张少阳 ;

高翔鹰 .

中国专利 :CN216679448U ,2022-06-07

[5]

一种全自动半导体化学品药液桶清洗装置 [P].

陈凤林 ;

黄芳玲 ;

陈叁洋 .

中国专利 :CN222241816U ,2024-12-27

[6]

一种半导体用化学品输送装置 [P].

谢信弘 .

中国专利 :CN211336021U ,2020-08-25

[7]

一种液体化学品吨桶清洗装置 [P].

朱永刚 ;

殷福华 ;

丁磊 .

中国专利 :CN206794309U ,2017-12-26

[8]

一种液体化学品吨桶清洗装置 [P].

濮翔 .

中国专利 :CN216655682U ,2022-06-03

[9]

一种半导体清洗设备化学品定量供给装置 [P].

孙晓琦 ;

赵龙山 ;

张志华 ;

丁孟 ;

曾祥瑞 .

中国专利 :CN121192026A ,2025-12-23

[10]

半导体清洗机化学品浓度控制系统 [P].

徐晨鸽 .

中国专利 :CN216486150U ,2022-05-10

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