一种全自动半导体化学品药液桶清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420955325.4

申请日：

2024-05-06

公开(公告)号：

CN222241816U

公开(公告)日：

2024-12-27

发明(设计)人：

陈凤林黄芳玲陈叁洋

申请人：

千予半导体材料（江苏）有限公司

申请人地址：

226000 江苏省南通市启东市生命健康科技园金科路899号7幢206室

IPC主分类号：

B08B9/36

IPC分类号：

B08B9/30

代理机构：

南通鼎点知识产权代理事务所(普通合伙) 32442

代理人：

胡建锋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-27	授权	授权

共 50 条

[1]

全自动半导体化学品药液桶清洗装置 [P].

张少阳 ;

高翔鹰 .

中国专利 :CN216679448U ,2022-06-07

[2]

一种半导体化学品药液桶清洗装置 [P].

孙伟伟 ;

马雨 ;

任阳阳 .

中国专利 :CN118719745B ,2025-11-18

[3]

一种半导体化学品药液桶清洗装置 [P].

孙伟伟 ;

马雨 ;

任阳阳 .

中国专利 :CN118719745A ,2024-10-01

[4]

半导体制程用电子级化学品清洗桶全自动清洗系统 [P].

林裕哲 ;

孙伟伟 ;

任阳阳 ;

刘号 .

中国专利 :CN117483371A ,2024-02-02

[5]

一种半导体化学品液体物料雾化清洗装置 [P].

江磊 .

中国专利 :CN216175068U ,2022-04-05

[6]

一种半导体化学品容器喷淋清洗干燥装置 [P].

江磊 .

中国专利 :CN215236597U ,2021-12-21

[7]

一种半导体清洗设备化学品定量供给装置 [P].

孙晓琦 ;

赵龙山 ;

张志华 ;

丁孟 ;

曾祥瑞 .

中国专利 :CN121192026A ,2025-12-23

[8]

一种全自动节水式清洗化学品桶的装置 [P].

徐晓明 .

中国专利 :CN215745344U ,2022-02-08

[9]

一种半导体化学品盛装容器清洗及干燥装置 [P].

许良锐 ;

柳泉泉 ;

杨星 ;

丁后舸 ;

周青 .

中国专利 :CN221675249U ,2024-09-10

[10]

一种半导体用化学品输送装置 [P].

谢信弘 .

中国专利 :CN211336021U ,2020-08-25

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