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半导体制程用电子级化学品清洗桶全自动清洗系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311749176.2
申请日：
2023-12-18
公开(公告)号：
CN117483371A
公开(公告)日：
2024-02-02
发明(设计)人：
林裕哲
孙伟伟
任阳阳
刘号
申请人：
冠礼控制科技（上海）有限公司
申请人地址：
200131 上海市浦东新区自由贸易试验区富特西一路333号长城大楼第一层A1-2部位
IPC主分类号：
B08B9/30
IPC分类号：
B08B9/34
B08B9/42
B08B9/20
代理机构：
上海科政专利代理事务所(普通合伙) 31463
代理人：
杨军
法律状态：
公开
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-02 | 公开 | 公开 |
| 2024-02-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B08B 9/30申请日:20231218 |