湿法腐蚀装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120431354.7

申请日：

2021-02-26

公开(公告)号：

CN214477345U

公开(公告)日：

2021-10-22

发明(设计)人：

浦栋惠利省李靖杨国文赵卫东

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号西北区20幢215、217室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

孙海杰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-22	授权	授权

共 50 条

[1]

湿法腐蚀装置 [P].

陆一峰 ;

刘格 ;

杨彦伟 ;

刘胜宇 ;

曾建武 .

中国专利 :CN206961796U ,2018-02-02

[2]

湿法腐蚀夹具 [P].

李海波 ;

刘刚 ;

冷祥 .

中国专利 :CN220796706U ,2024-04-16

[3]

应用于湿法腐蚀机的加液装置及湿法腐蚀机 [P].

陆洋 ;

马志峰 .

中国专利 :CN211788941U ,2020-10-27

[4]

湿法腐蚀装置 [P].

刘振芳 ;

蔡福兴 .

中国专利 :CN85203849U ,1986-05-21

[5]

湿法腐蚀装置 [P].

罗先刚 ;

高平 ;

张涛 ;

赵博文 ;

张加贝 ;

郑博明 .

中国专利 :CN120221472A ,2025-06-27

[6]

湿法腐蚀夹具 [P].

廖洪钢 ;

邓俊先 ;

江友红 .

中国专利 :CN214898339U ,2021-11-26

[7]

湿法腐蚀夹具 [P].

廖洪钢 .

中国专利 :CN214505465U ,2021-10-26

[8]

湿法腐蚀装置、湿法腐蚀方法和晶圆芯片 [P].

陆一峰 ;

刘格 ;

杨彦伟 ;

刘胜宇 ;

曾建武 .

中国专利 :CN106992135A ,2017-07-28

[9]

硅片湿法旋转腐蚀装置 [P].

丁乙人 ;

刘明 ;

刘勇 ;

陆绍良 .

中国专利 :CN202247021U ,2012-05-30

[10]

湿法腐蚀夹具 [P].

廖洪钢 ;

邓俊先 ;

江友红 .

中国专利 :CN112951748B ,2025-07-11

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