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湿法腐蚀夹具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322472546.4
申请日：
2023-09-12
公开(公告)号：
CN220796706U
公开(公告)日：
2024-04-16
发明(设计)人：
李海波
刘刚
冷祥
申请人：
无锡市华辰新美半导体有限公司
申请人地址：
214142 江苏省无锡市新吴区锡梅路111-10-1号
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
杨亚茹
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-16 | 授权 | 授权 |
| 2025-01-10 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):H01L 21/687变更事项:专利权人变更前:无锡市华辰新美半导体有限公司变更后:华辰芯光（无锡）半导体有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:214142 江苏省无锡市新吴区锡梅路111-10-1号变更后:214142 江苏省无锡市新吴区锡梅路111-10号 |