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晶圆夹具、晶圆湿法腐蚀设备以及晶圆湿法腐蚀工艺
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310085049.0
申请日：
2023-02-08
公开(公告)号：
CN118039550A
公开(公告)日：
2024-05-14
发明(设计)人：
秦华
王懋
刘路
申请人：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请人地址：
215123 江苏省苏州市工业园区若水路398号
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/306
代理机构：
苏州三英知识产权代理有限公司 32412
代理人：
仲崇明
法律状态：
公开
国省代码：
北京市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-14 | 公开 | 公开 |
| 2024-05-31 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20230208 |