一种用于晶圆湿法腐蚀工艺的金属掩膜制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111396128.0

申请日：

2021-11-23

公开(公告)号：

CN114164402A

公开(公告)日：

2022-03-11

发明(设计)人：

张鹏斐齐志强吴新建章侃刘文明

申请人：

申请人地址：

430000 湖北省武汉市洪山区雄楚大街981号

IPC主分类号：

C23C1430

IPC分类号：

C23C1418 C23C1458 G03F168

代理机构：

武汉凌达知识产权事务所(特殊普通合伙) 42221

代理人：

刘念涛

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/30 申请日:20211123
2022-03-11	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于晶圆干法刻蚀工艺的金属掩膜形成方法 [P].

赵广宏 ;

许姣 ;

曹正威 ;

尹玉刚 ;

金小锋 .

中国专利 :CN109712879A ,2019-05-03

[2]

湿法腐蚀制备精细金属掩膜漏板的方法 [P].

李志明 ;

孙晓娟 ;

宋航 ;

黎大兵 ;

陈一仁 ;

缪国庆 ;

蒋红 .

中国专利 :CN101887214A ,2010-11-17

[3]

一种晶圆级Au金属膜层湿法腐蚀图形化的方法 [P].

张帅 ;

刘阳 ;

包星晨 ;

房立峰 ;

张伟 .

中国专利 :CN112271135A ,2021-01-26

[4]

改善湿法腐蚀金属工艺的方法 [P].

牛浩博 ;

王韬 .

中国专利 :CN120280344A ,2025-07-08

[5]

一种MEMS晶圆腐蚀厚度监控及腐蚀工艺评估方法 [P].

林海亚 ;

刘聪 ;

张义钦 ;

万子鸿 .

中国专利 :CN121020502A ,2025-11-28

[6]

基于干法刻蚀和湿法腐蚀工艺制备硅纳米结构的方法 [P].

施毅 ;

陈杰智 ;

濮林 ;

郑有炓 ;

龙世兵 ;

刘明 .

中国专利 :CN100591614C ,2007-09-26

[7]

一种用于氮化铝晶体的湿法腐蚀工艺 [P].

吴亮 ;

刘理想 ;

贺广东 ;

王智昊 ;

龚加玮 ;

黄嘉丽 ;

雷丹 .

中国专利 :CN107829144A ,2018-03-23

[8]

一种多层金属图形化工艺中的湿法腐蚀方法 [P].

韩文胜 ;

缪新海 ;

臧延亮 .

中国专利 :CN103681277A ,2014-03-26

[9]

一种抗氢氟酸腐蚀液腐蚀的金属掩膜制备方法 [P].

唐琼 ;

杨军 ;

曲蕴杰 ;

李佳 ;

朱建伟 ;

李海燕 ;

杨轶博 ;

张菁华 .

中国专利 :CN102010135A ,2011-04-13

[10]

一种耐BOE腐蚀的金属掩膜制备方法 [P].

马日红 ;

毕小伟 ;

梁德春 ;

马跃飞 ;

刘福民 .

中国专利 :CN107299318A ,2017-10-27

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