一种多层金属图形化工艺中的湿法腐蚀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210352843.9

申请日：

2012-09-20

公开(公告)号：

CN103681277A

公开(公告)日：

2014-03-26

发明(设计)人：

韩文胜缪新海臧延亮

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号

IPC主分类号：

H01L2128

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

常亮

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-19	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/28 登记生效日:20171130 变更事项:专利权人变更前权利人:无锡华润上华半导体有限公司变更后权利人:无锡华润上华科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号变更后权利人:214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
2017-12-19	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/28 变更事项:专利权人变更前:无锡华润上华半导体有限公司变更后:无锡华润上华科技有限公司变更事项:地址变更前:214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号变更后:214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
2014-03-26	公开	公开
2016-08-03	授权	授权
2014-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581680158 IPC(主分类):H01L 21/28 专利申请号:2012103528439 申请日:20120920

共 50 条

[1]

一种晶圆级Au金属膜层湿法腐蚀图形化的方法 [P].

张帅 ;

刘阳 ;

包星晨 ;

房立峰 ;

张伟 .

中国专利 :CN112271135A ,2021-01-26

[2]

改善湿法腐蚀金属工艺的方法 [P].

牛浩博 ;

王韬 .

中国专利 :CN120280344A ,2025-07-08

[3]

一种用于晶圆湿法腐蚀工艺的金属掩膜制备方法 [P].

张鹏斐 ;

齐志强 ;

吴新建 ;

章侃 ;

刘文明 .

中国专利 :CN114164402A ,2022-03-11

[4]

一种多层金属湿法腐蚀的腐蚀液循环机构 [P].

黄赛琴 ;

黄福仁 ;

潘少辉 ;

郑志霞 .

中国专利 :CN222226559U ,2024-12-24

[5]

一种湿法化学腐蚀LED表面粗化工艺 [P].

张志强 .

中国专利 :CN102185040A ,2011-09-14

[6]

一种湿法腐蚀蓝宝石图形衬底的方法 [P].

陈弘 ;

王晶 ;

贾海强 ;

郭丽伟 ;

周均铭 ;

李卫 ;

汪洋 ;

邢志刚 .

中国专利 :CN1294649C ,2005-11-23

[7]

一种厚铝湿法腐蚀工艺中刻蚀终点的判断方法 [P].

同小锦 ;

王新 .

中国专利 :CN119361460A ,2025-01-24

[8]

一种用于氮化铝晶体的湿法腐蚀工艺 [P].

吴亮 ;

刘理想 ;

贺广东 ;

王智昊 ;

龚加玮 ;

黄嘉丽 ;

雷丹 .

中国专利 :CN107829144A ,2018-03-23

[9]

一种背部湿法腐蚀工艺中的正面保护装置 [P].

葛彦杰 ;

曹慧通 ;

郑自菲 ;

徐新玉 .

中国专利 :CN220984476U ,2024-05-17

[10]

一种顶层是金属镍的腐蚀工艺 [P].

唐红梅 ;

孙培 ;

王毅 .

中国专利 :CN115206799B ,2025-12-02

← 1 2 3 4 5 →