一种载板传输装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110652670.1

申请日：

2021-06-11

公开(公告)号：

CN113394146A

公开(公告)日：

2021-09-14

发明(设计)人：

谢建余玲珑刘永才

申请人：

申请人地址：

518104 广东省深圳市宝安区沙井街道步涌社区大兴二路14号一层

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

北京派特恩知识产权代理有限公司 11270

代理人：

陈宇;张颖玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20210611
2021-09-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种新型镂空石墨载板的传输结构 [P].

马煜隆 ;

张恒 ;

段甜健 ;

杨东 ;

姚骞 ;

包崇彬 .

中国专利 :CN203367251U ,2013-12-25

[2]

载板传输装置及PVD设备 [P].

祁文杰 ;

林佳继 .

中国专利 :CN220284204U ,2024-01-02

[3]

一种载板传输装置 [P].

顾徐锋 ;

戴秋喜 ;

潘加永 ;

刘光照 .

中国专利 :CN218318804U ,2023-01-17

[4]

一种导轨条及载板装置 [P].

周桂宏 .

中国专利 :CN207632112U ,2018-07-20

[5]

一种电镀载板以及电镀载具 [P].

李华 ;

童洪波 ;

张洪超 ;

李杰 ;

张永辉 ;

靳玉鹏 ;

刘继宇 ;

魏飞 ;

凡银生 ;

梁轶 ;

贾海波 .

中国专利 :CN216473554U ,2022-05-10

[6]

一种碳纤维载板 [P].

周桂宏 .

中国专利 :CN208000897U ,2018-10-23

[7]

一种硅片传输装置 [P].

程锋 ;

周一睁 ;

龚鹏 ;

胡英 ;

徐贵阳 .

中国专利 :CN222421926U ,2025-01-28

[8]

载板传输装置 [P].

王铮 .

中国专利 :CN209352189U ,2019-09-06

[9]

一种硅片精准上下片装置及双层载板传输装置 [P].

许明现 ;

王进 ;

马胜涛 ;

胡林 .

中国专利 :CN216250766U ,2022-04-08

[10]

载板传输装置和真空镀膜设备 [P].

左国军 ;

候岳明 ;

宋广华 ;

杨虎 .

中国专利 :CN217757649U ,2022-11-08

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