一种新型镂空石墨载板的传输结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320501254.2

申请日：

2013-08-16

公开(公告)号：

CN203367251U

公开(公告)日：

2013-12-25

发明(设计)人：

马煜隆张恒段甜健杨东姚骞包崇彬

申请人：

申请人地址：

610000 四川省成都市双流县西南航空港经济开发区天威路1号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L21677 H01L3118 H01L310216

代理机构：

成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220

代理人：

谭新民

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20130816 授权公告日:20131225 终止日期:20170816
2013-12-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于ETP PECVD生产线的镂空石墨载板 [P].

芶富均 .

中国专利 :CN202766616U ,2013-03-06

[2]

一种镀膜用石墨载板 [P].

林国春 .

中国专利 :CN203826417U ,2014-09-10

[3]

一种载板传输装置 [P].

谢建 ;

余玲珑 ;

刘永才 .

中国专利 :CN113394146A ,2021-09-14

[4]

一种石墨载板 [P].

张春华 ;

叶陈男 ;

王炎 ;

吴泽民 ;

侯玉 ;

王高昇 ;

衡阳 ;

潘励刚 ;

李栋 .

中国专利 :CN210325732U ,2020-04-14

[5]

一种石墨载板 [P].

胥洋 ;

袁静 ;

韩少鹏 .

中国专利 :CN210723071U ,2020-06-09

[6]

一种石墨板 [P].

王家道 ;

曾德栋 ;

蔡少坤 ;

傅登峰 ;

吴卫平 ;

付志强 ;

朱志文 .

中国专利 :CN203071117U ,2013-07-17

[7]

一种电镀载板以及电镀载具 [P].

李华 ;

童洪波 ;

张洪超 ;

李杰 ;

张永辉 ;

靳玉鹏 ;

刘继宇 ;

魏飞 ;

凡银生 ;

梁轶 ;

贾海波 .

中国专利 :CN216473554U ,2022-05-10

[8]

一种用于双面镀膜的载板 [P].

周桂宏 .

中国专利 :CN208767325U ,2019-04-19

[9]

一种碳纤维载板 [P].

周桂宏 .

中国专利 :CN208000897U ,2018-10-23

[10]

一种上镀膜载板 [P].

周桂宏 .

中国专利 :CN207845819U ,2018-09-11

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