一种叠层台观察装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201220148635.2
申请日
2012-04-10
公开(公告)号
CN202549901U
公开(公告)日
2012-11-21
发明(设计)人
沈凯锋 李勇
申请人
申请人地址
314512 浙江省嘉兴市桐乡市河山镇工业园
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
代理机构
上海申汇专利代理有限公司 31001
代理人
翁若莹;王婧
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
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