一种叠层台装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201821359999.9
申请日
2018-08-22
公开(公告)号
CN209312783U
公开(公告)日
2019-08-27
发明(设计)人
吕涛 袁尧年 陈琴琴 范佚 李晓阳 孙升升 郑嘉斌 杨磊 李天晓
申请人
申请人地址
324000 浙江省衢州市东港开发区百灵中路3号
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
H01L21683
代理机构
北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319
代理人
莎日娜
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种叠层台观察装置 [P]. 
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[4]
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[5]
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[8]
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[10]
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