供液系统及供液方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010663276.3

申请日：

2020-07-10

公开(公告)号：

CN113921418A

公开(公告)日：

2022-01-11

发明(设计)人：

蒋国彪

申请人：

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260

代理人：

成丽杰

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-11	公开	公开
2022-01-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200710

共 50 条

[1]

供液系统及供液方法 [P].

林彦伯 ;

贺成明 .

中国专利 :CN102151678A ,2011-08-17

[2]

供液装置及供液系统 [P].

邱伟华 ;

尤如峰 .

中国专利 :CN210726675U ,2020-06-12

[3]

供液装置及供液系统 [P].

陈锐 ;

张光辉 ;

江宗哲 .

中国专利 :CN210847005U ,2020-06-26

[4]

供液系统及其供液方法 [P].

柴立 .

中国专利 :CN104084410A ,2014-10-08

[5]

供液系统、供液方法及涂布装置 [P].

古川正 ;

五十岚昭彦 .

中国专利 :CN102039258A ,2011-05-04

[6]

一种供液系统及供液方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119237257A ,2025-01-03

[7]

供液装置和供液系统 [P].

黄助发 ;

刘群 ;

朱有森 ;

林朝辉 ;

唐永良 ;

肖福成 ;

贾龙强 ;

喻文俊 ;

郭一显 ;

黄堡垒 .

中国专利 :CN223640157U ,2025-12-09

[8]

供液装置和供液系统 [P].

毛志国 .

中国专利 :CN222323998U ,2025-01-10

[9]

一种研磨液供液装置、供液系统和供液方法 [P].

乐宇翔 ;

张大鹏 ;

姚宏兵 .

中国专利 :CN120395695A ,2025-08-01

[10]

液冷循环供液系统及液冷循环供液方法 [P].

张晓伟 ;

刘广志 .

中国专利 :CN117979661B ,2024-06-07

← 1 2 3 4 5 →