改进的集成电路电容器制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410067202.4

申请日：

2004-10-15

公开(公告)号：

CN1761048A

公开(公告)日：

2006-04-19

发明(设计)人：

金正起

申请人：

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号

IPC主分类号：

H01L218242

IPC分类号：

H01L2182

代理机构：

上海新高专利商标代理有限公司

代理人：

楼仙英

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-04-19	公开	公开
2008-09-17	授权	授权
2006-06-07	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-01-04	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件序号:101257315974 IPC(主分类):H01L 21/8242 专利号:ZL2004100672024 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号变更后权利人:201203 上海市张江路18号变更事项:共同专利权人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20111123 号牌文件类型代码:1602

共 50 条

[1]

集成电路的电容器及其制造方法 [P].

杨富量 ;

郑湘原 ;

何游俊 ;

刘滨 ;

葛兆民 .

中国专利 :CN1048823C ,1997-11-26

[2]

集成电路电容器及其制造方法 [P].

陈士弘 ;

谢光宇 .

中国专利 :CN103456497A ,2013-12-18

[3]

集成电路电容器 [P].

李受哲 ;

张东烈 .

中国专利 :CN100431151C ,2004-04-14

[4]

集成电路电容器 [P].

汉斯·哈贝尔施塔特 .

中国专利 :CN102545815A ,2012-07-04

[5]

集成电路的电容器 [P].

廖忠志 .

中国专利 :CN101299428B ,2008-11-05

[6]

电容器、电容器的制造方法及半导体集成电路 [P].

林茂雄 ;

张大鹏 ;

朱畅 ;

韦鸿运 ;

刘刚 ;

蒋云峰 .

中国专利 :CN107068650A ,2017-08-18

[7]

集成电路、集成电路的电容器阵列以及用于制造集成电路的方法 [P].

K·K·穆图克里希南 ;

A·J·斯赫林斯凯 .

中国专利 :CN112185962A ,2021-01-05

[8]

集成电路、集成电路的电容器阵列以及用于制造集成电路的方法 [P].

K·K·穆图克里希南 ;

A·J·斯赫林斯凯 .

美国专利 :CN112185962B ,2025-08-12

[9]

集成电路中的电容器及其制造方法 [P].

H·诺尔斯特伦 ;

S·尼格伦 .

中国专利 :CN1113401C ,2000-05-17

[10]

集成电路的电容器结构及其制造方法 [P].

陈岳猷 ;

张家龙 ;

赵治平 .

中国专利 :CN100477214C ,2007-07-18

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