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显影液在线回收循环利用系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201520974377.7
申请日：
2015-12-01
公开(公告)号：
CN205193430U
公开(公告)日：
2016-04-27
发明(设计)人：
邢攸美
申请人：
申请人地址：
310000 浙江省杭州市萧山区杭州萧山临江工业园区红十五路9936号
IPC主分类号：
G03F730
IPC分类号：
代理机构：
杭州赛科专利代理事务所(普通合伙) 33230
代理人：
冯年群
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-03-20 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/30 变更事项:专利权人 变更前:杭州格林达化学有限公司 变更后:杭州格林达电子材料股份有限公司 变更事项:地址 变更前:310000 浙江省杭州市萧山区杭州萧山临江工业园区红十五路9936号 变更后:310000 浙江省杭州市萧山区杭州萧山临江工业园区红十五路9936号 |
| 2016-04-27 | 授权 | 授权 |