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一种显影液在线回收循环利用装置及其使用方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201410132385.7
申请日：
2014-04-03
公开(公告)号：
CN103941552B
公开(公告)日：
2014-07-23
发明(设计)人：
詹文清
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山市开发区兵希工业配套区
IPC主分类号：
G03F730
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-12-15 | 授权 | 授权 |
| 2020-03-20 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/30 申请日:20140403 授权公告日:20171215 终止日期:20190403 |
| 2014-08-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101584547441 IPC(主分类):G03F 7/30 专利申请号:2014101323857 申请日:20140403 |
| 2014-07-23 | 公开 | 公开 |