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电感耦合等离子体处理装置及其天线组件
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020993163.5
申请日：
2020-06-03
公开(公告)号：
CN212752710U
公开(公告)日：
2021-03-19
发明(设计)人：
朴世文
申请人：
申请人地址：
韩国京畿道
IPC主分类号：
H05H146
IPC分类号：
代理机构：
北京鸿元知识产权代理有限公司 11327
代理人：
姜虎;陈英俊
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-19 | 授权 | 授权 |