衬底处理装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210262612.9

申请日：

2012-07-27

公开(公告)号：

CN102903652A

公开(公告)日：

2013-01-30

发明(设计)人：

崔泰五

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

杨生平;钟锦舜

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-30	公开	公开
2015-08-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101719265306 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2012102626129 申请公布日:20130130
2013-03-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101409721708 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2012102626129 申请日:20120727

共 50 条

[1]

衬底处理装置和衬底处理方法 [P].

卢炫佑 ;

金劲佑 ;

郑暎锡 ;

洪永珍 ;

吴守赞 ;

申盛宇 ;

李南勋 ;

李奉柱 .

韩国专利 :CN118016555A ,2024-05-10

[2]

衬底处理方法和衬底处理装置 [P].

金龙优 ;

李东炫 ;

姜东勳 ;

奇釜杆 ;

边湖连 ;

李廷仁 ;

崔圣植 ;

崔正燮 .

韩国专利 :CN120344117A ,2025-07-18

[3]

衬底处理装置和衬底处理方法 [P].

朴相真 ;

朴智焕 ;

李根泽 .

韩国专利 :CN118553640A ,2024-08-27

[4]

衬底处理装置和衬底处理方法 [P].

樱井秀昭 ;

伊藤正光 ;

伊藤信一 .

中国专利 :CN1199242C ,2002-08-28

[5]

衬底处理装置和衬底处理方法 [P].

朴相真 ;

朴智焕 ;

李根泽 .

韩国专利 :CN118099023A ,2024-05-28

[6]

衬底处理装置和衬底处理方法 [P].

李一成 ;

汪宇澄 ;

陈亮 ;

陶成钢 .

中国专利 :CN102842637A ,2012-12-26

[7]

衬底处理管、衬底处理装置和衬底处理方法 [P].

李贤珠 ;

金炳勋 ;

金玹彻 ;

李在珩 ;

孔炳焕 .

韩国专利 :CN117364058A ,2024-01-09

[8]

衬底处理方法和衬底处理装置 [P].

中务胜吉 ;

小笠原和久 ;

堺原义晶 ;

春木佳弘 ;

川手宗则 .

中国专利 :CN100490083C ,2006-06-14

[9]

衬底处理装置和衬底处理方法 [P].

林庆泽 ;

金縡夏 ;

李承桓 ;

李承俊 .

韩国专利 :CN119511653A ,2025-02-25

[10]

衬底处理方法和衬底处理装置 [P].

中务胜吉 ;

小笠原和久 ;

堺原义晶 ;

春木佳弘 ;

川手宗则 .

中国专利 :CN1791968A ,2006-06-21

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